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精选!茂莱光学:公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜,以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件
来源:同花顺iNews      时间:2023-05-23 16:29:08


(资料图片仅供参考)

同花顺(300033)金融研究中心5月23日讯,有投资者向茂莱光学提问, 众所周知,国产光刻机的一个重要瓶颈就在于光学镜头技术。 请问公司近期在该方向有没有可能实现突破性进展? 谢谢!

公司回答表示,光刻机是集成电路制造的关键核心设备。高端光刻机含有上万个零部件,光学器件是其中的一类关键部件,对光刻机的成像分辨率和套刻精度有重要影响。光学器件精度需控制在几纳米以内,对误差和稳定性的要求极为苛刻。公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜,以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件,是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块。

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